纳米位移电容传感器

用于要求最高精度的应用

量程达1000微米 分辨率达0.01纳米

带数字式控制器，线性误差达0.01%  带宽达10千赫兹

伺服控制器E-509.CxA，与E-500压电控制器系统兼容

定制设计

电容式位置传感器可实现最高精度和最长使用寿命

结合用于信号处理的电控，准静态应用可实现亚纳米级的分辨率。高动态应用的带宽可提高至高达10千赫兹，却仍然可实现1纳米级的分辨率。线性误差在0.1%以下

定制版本/双电极传感器

除了此处列出的标准传感器外，PI还提供一系列针对特定应用的定制版本，其量程、几何形状或材料等经过了调整以满足客户需求。定制电控也可供货。

D-100系列中的双电极传感器可满足对线性和分辨率的最高要求。

易于操作和集成

所有PISeca传感器头均安装一个LEMO连接器，以便于安装和更换。均匀的轴厚度确保兼容性和灵活性。用于连接至评估电控的电缆提供多种型号，必须单独订购。

应用领域

工业和科研。半导体制造和检测。纳米测量。有源减振器。精密加工。

非接触式距离测量  定制设计